【仪器名称】：椭圆偏振光谱仪（Ellipsometer）

【设备型号】：UVISEL

【设备厂商】：法国HORIBA

【仪器详情】：

通过测量偏振光在介质的表面反射时偏振状态的变化，可以获得介质材料的光学常数（折射率、消光系数、介电函数、透过率和反射率等）和结构（膜厚、表面粗糙度、禁带宽度、激子束缚能等）信息。Horiba的UVISEL光谱型相调制椭圆偏振仪是一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏设备，它采用光弹调制器来实现偏振状态的调制而无机械运动，能够在全谱范围内准确测量椭偏角，从而可以对透明衬底、超薄薄膜和折射率接近的样品进行高精度和高灵敏度的特性分析。

【主要特点】：

● 高精度，全范围无盲区（Ψ=0-90°, Δ=0-360°）

● 光谱范围大，有效覆盖深紫外-近红外光谱波段（210-880nm）

● 高速数据采集（1ms/point），重复性高

● 数据库模型丰富、快速拟合，可批量测量与分析

● 无损检测，无需样品制备

● 适用透明、半透明样品，可用于检测超薄薄膜（nm）

● 可用于动态研究和液体表面测量

【技术参数】：

● 光谱范围210-880nm，有效覆盖深紫外-近红外光谱波段

● 椭偏测量范围：Ψ=0-90°，Δ=0-360°

● 高灵敏度，UVISEL采用光弹调制器PEM作为核心元件，具有50kHz 的快速调制速度；

● 椭偏参数的准确性：95%以上的被测点满足Δ≤00±0.05， Ψ≤450±0.0750（直射测量，即测空气）

● 30次连续性测量膜厚重复性：优于0.003nm(25nm SiO2 On Si)或者优于0.02nm （80-100nm SiO2 On Si）

● 快速数据采集，保证信噪比的前提下，可以极快地采集数据，达到1ms/point；

● 光斑直径：50µm，100µm，1mm

● 可检测样品尺寸：碎片或2、4、6英寸薄膜

【应用领域】：

设备广泛应用于材料学、化学、生物、医学、能源、环境等领域。

●半导体材料常规PL荧光测量

●半导体材料变温PL荧光测量

●半导体材料变功率PL荧光 测量

●薄膜变温EL谱、变温IV曲线等变温电学测试

●有机化合物荧光测量

●矿物、染料荧光测量