【仪器名称】：点测机（Prober）

【设备型号】：PG2101

【设备厂商】：台湾 德仪科技

【仪器详情】：

通过图像匹配、识别、定位等过程，获取蓝膜上课识别晶粒的物理位置，同时生成该蓝膜上LED晶粒点测得原理是将大载有大量LED晶粒的待测蓝膜（扩散分离后）放入测试台（wafer）上，经真空吸附固定后，LED晶粒自动点测台的视觉系统对蓝膜上的LED晶粒进行全片扫描，LED晶粒的逻辑位置图（MAP），根据LED晶粒的物理位置，控制待测的晶粒移动到测针下，使LED晶粒的两极与测针接触，提供测试回路；同时将逻辑位置发送给LED晶粒测试仪，实现自动测试，并将测试结果保存到用于管理测试资料的数据库系统中。

【主要特点】：

● 适合正装结构、倒装结构以及垂直结构的LED芯片；

● 最大适用8英寸晶圆测试；

● 最大适用功率达160W；

● 适用VF达400V的HV LED芯片；

● 自动调平，自动寻边探测，探针精确定位；

● 快速抽测，实时Mapping图显示。

【技术参数】：

●兼容2”~6” flip chips LED晶圆测试，以及蓝膜扩张在2”~6”的普通GaN LED晶圆测试

●兼容2”~8” 单电极的红黄光晶圆测试，以及2”~8” GaN on Si类型晶圆的测试

●兼容<210mm*210mm尺寸内的COB封装LED测试

●兼容上发光芯片的mcd，mW与lm亮度单位测试，以及flip chips的mcd，mW与lm亮度单位测试

●兼容金电极，以及铝电极等多种类型的LED芯片测试

●CCD扫描功能，提供晶圆扩张后的晶粒定位，以及偏转角<±10°时的自动调平功能；

●自有专利的寻边器探针座，兼容针压达1克的精细调节，优化测试精度与针痕

●抽测功能，以1/4，1/9，1/16等比例对LED芯片做快速抽测，同样输出mapping晶圆图

【应用领域】：

点测机可广泛应用于LED晶圆检测、生物研究、军工行业、科学研究、玻璃行业、宝石研究、光伏产业、特殊光源检测等领域。